測(cè)桿長(zhǎng)度

175 mm, 350 mm

測(cè)量速度（文本）

0.2 mm/s 至 4 mm/s

針尖半徑

25

掃描長(zhǎng)度末尾（X 方向）

200 mm

分辨率

Z 方向，相對(duì)探針針頭：0.38 μm（350 mm 測(cè)桿）/   0.19 μm（175 mm 測(cè)桿）

Z 方向，相對(duì)測(cè)量系統(tǒng)：0.04 μm

掃描長(zhǎng)度開始（X 方向）

0.2 mm

取樣角

在平滑表面上，取決于偏差：后緣高至 88°，前緣高至 77°

定位速度（文本）

X 方向返回速度：0.2 至 8 mm/s
  Z 方向：0.2 至 10 mm/s

導(dǎo)塊偏差

< 1 μm（200 mm 以上）

測(cè)量原則

探針法

輸入

R 測(cè)頭，MFW 250
  光學(xué)測(cè)頭 Focodyn*、LS 1*、LS 10*（*僅結(jié)合 PGK 或 GD 120 CNC 驅(qū)動(dòng)裝置）

測(cè)量范圍 mm

(in Z) 50 mm
  MFW 250: ±25 μm，±250 μm，（最高 ±750 μm）；±1000 μin，±10,000 μin（最高 ±30,000 μm）

掃描長(zhǎng)度（文本）

自動(dòng)；0.56   mm；1.75 mm；5.6 mm；17.5 mm，56 mm，
  （.022 / .070 / .224 / .700 / 2.240 英寸），測(cè)量至擋塊，可變

采樣長(zhǎng)度數(shù)量符合 ISO/JIS

1 至 50（默認(rèn)：5）

測(cè)量力 (N)

1 mN 至 120 mN 左右（可在 MarSurf XC 20 中設(shè)置）